导图创作分享
本导图提供了光学聚焦式轮廓仪的基础知识，包括其定义、测量原理、过程以及衍生的探测方法，旨在为大众读者提供一个清晰的结构化概述。
大纲
- 光学聚焦式轮廓仪概述
- 1. 定义与原理
- 光 学 聚 焦 式 轮 廓 仪 是 一 种 基 于 聚 焦 误 差 信 号 检 测 原 理 的 激 光 测 量 方 法 ， 也 称 为 光 学 探 针 法 。 它 通 过 聚 焦 物 镜 将 光 束 聚 焦 至 被 测 表 面 ， 利 用 反 射 光 的 变 化 来 探 测 表 面 形 貌 。
- 2. 测量过程
- 2.1 光束聚焦
- 入射光通过分光镜，由聚焦物镜将光束聚焦为一光点至被测表面。
- 2.2 反射与检测
- 反射光经过物镜和分光镜至光电探测器，探测器将光强转换为电信号。
- 2.3 表面形貌探测
- 系统扫描测量时，光点沿被测表面移动，通过控制聚焦物镜的移动来描述表面形貌信息。
- 2.1 光束聚焦
- 3. 衍生方法
- 基于光学聚焦式轮廓仪原理，发展出多种聚焦探测方法，包括光强法、差分法、临界角法、像散法、傅科刀口法、偏心光束法等。
- 1. 定义与原理
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