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本导图详细梳理了固相外延技术的基本概念、工艺分类、在不同半导体材料中的应用，以及其在制备高质量异质结构材料中的重要性。
大纲
- 固相外延技术概述
- 1. 固相外延简介
- 1.1 定义与重要性
- 1.2 研究进展与应用前景
- 2. 硅的固相外延工艺
- 2.1 无需输运媒质的SPE法
- 2.2 需要输运媒质的SPE法
- 2.2.1 共晶体系类
- 2.2.2 化合物体系类
- 3. 化合物半导体的固相外延
- 3.1 砷化镓的固相外延
- 3.2 砷化镓/硅体系的外延
- 3.3 磷化铟/砷化镓体系的外延
- 4. 固相外延技术的应用
- 4.1 二维生长与界面缺陷消除
- 4.2 异质结构材料的制备
- 1. 固相外延简介
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