导图创作分享
本导图详细概述了干涉检测技术的基本原理、应用范围、不同检测方法以及技术发展和应用实例，为读者提供了一个全面了解干涉检测技术的框架。
大纲
- 干涉检测技术概述
- 1. 干涉检测原理
- 利用光的干涉现象对光学面形进行高精度检测
- 通过分析干涉图中的条纹变化获取光学元件表面信息
- 2. 干涉检测的应用范围
- 适用于平面、球面、非球面及自由曲面等多种光学面形的检测
- 3. 球面镜的干涉检测
- 调整干涉仪或待测镜以实现球面波焦点与球心的重合
- 检测光反射后与参考球面波干涉，获取球面镜面形信息
- 4. 非球面干涉检测方法
- 4.1 零位检测法
- 包括无像差点检测法、补偿镜检测法和计算全息
- 参考光和被检光共光路，消除非共路误差
- 需要高精度零位补偿器，成本高，检测精度高
- 4.2 非零位检测法
- 包括部分补偿法、剪切法、长波长法、亚奈奎斯特采样法
- 通过补偿或特殊接收器扩大检测范围
- 检测精度相对较低，但成本较低
- 4.1 零位检测法
- 5. 干涉检测技术的发展与应用
- 童晓蕾等人的超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究
- 激光超声可视化检测仪与光学隔振平台的应用
- 1. 干涉检测原理
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