本导图以红外吸收技术为核心，详细阐述了半导体中杂质和缺陷的检测原理、类型、分析方法及相关技术，为读者提供了一个清晰的知识框架。
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半导体中杂质和缺陷的红外吸收
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本导图以红外吸收技术为核心，详细阐述了半导体中杂质和缺陷的检测原理、类型、分析方法及相关技术，为读者提供了一个清晰的知识框架。
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