本导图详细梳理了固相外延技术的基本概念、工艺分类、在不同半导体材料中的应用，以及其在制备高质量异质结构材料中的重要性。
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固相外延技术概述
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本导图详细梳理了固相外延技术的基本概念、工艺分类、在不同半导体材料中的应用，以及其在制备高质量异质结构材料中的重要性。
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