本导图提供了相移掩膜技术的全面概述，包括其定义、基本原理、不同类型的相移掩膜、制作工艺以及在集成电路制造中的应用。
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相移掩膜技术概述
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本导图提供了相移掩膜技术的全面概述，包括其定义、基本原理、不同类型的相移掩膜、制作工艺以及在集成电路制造中的应用。
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