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本导图详细阐述了微机电设计规则检查的概念、重要性、构成、规则分类、目的、检查流程以及软件定义设计规则的方法,旨在为大众读者提供一个清晰的知识结构。
大纲
- 微机电设计规则检查
- 1. 概述
- 微机电设计规则检查定义
- 重要性与作用
- 2. 设计规则检查的重要性
- 确保集成电路芯片物理版图满足参数要求
- 电子设计自动化(EDA)的组成部分
- 物理验证的主要步骤
- 3. 设计规则的构成
- 由半导体制造厂商提供的参数
- 版图数据中的多边形和分层检查
- 制造工艺规则的遵守
- 4. 单层与多层规则
- 单层规则:图形区域宽度和相邻图形距离的规定
- 多层规则:接触孔或通孔的覆盖与边缘要求
- 5. 设计规则检查的目的
- 生产高良率和高可靠性的产品
- 功能影响与设计规则违反的关系
- 6. 设计规则检查的流程
- 输入GDSII格式文件
- 软件处理与违反规则报告
- 设计者对违反规则数据的确认
- 7. 软件定义设计规则
- 使用计算机语言描述设计规则
- 1. 概述
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