导图创作分享
本导图提供了选择性外延生长技术的全面概览，从定义、发展历程、工作原理、在集成电路中的应用，到技术的优势与挑战，为读者提供了一个清晰的技术框架。
大纲
- 选择性外延生长技术概览
- 1. 技术定义与应用
- 1.1 选择性外延生长简介
- 1.2 技术应用领域
- 2. 技术发展历程
- 2.1 早期发明与挑战
- 2.2 80年代的技术突破
- 3. 工作原理与过程
- 3.1 外延生长过程
- 3.2 腐蚀性气体的作用
- 3.3 低压低温条件的影响
- 4. 技术在集成电路中的应用
- 4.1 锗硅合金源漏应变技术
- 4.2 性能提升机制
- 5. 技术优势与挑战
- 5.1 技术优势概述
- 5.2 面临的挑战
- 1. 技术定义与应用
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